半導体製造装置の製造現場で振動に対する許容度がゼロである理由

座標測定機（CMM）や自動光学検査装置（AOI）システムにおけるわずかな振動は、測定値の誤差だけでなく、バ​​ッチ不良の原因にもなります。標準的な金属製ベースは、熱膨張や微小振動の影響を受けやすいのです。

これがまさにZHHIMG®が花崗岩部品サムスン、GE、ボッシュといった企業にとって、当社の製品は業界標準となっています。当社のZHHIMG®黒御影石は、線膨張係数が非常に低く、作業場の温度が±5℃変動しても、変形量はわずか0.0005mm/mです。

巨大な20メートルの花崗岩のベッドでも、精密レーザーカッターXYテーブル用のコンパクトなエアベアリングなど、当社の花崗岩は完璧な制振材として機能します。当社は毎月2万セット以上の精密ベッドを加工しており、パートナー企業の皆様は、当社がそれぞれの課題を理解していることを信頼してくださっています。

精密な作業には、過度な要求は禁物だ。設備基盤が完全に安定していなければ、何百万ドルもする機械も、結局は当てずっぽうで動いているに過ぎない。