精密花崗岩ソリューション
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高精度ZHHIMG®花崗岩組立ベース
熱膨張や残留応力の影響を受けやすい鋳鉄製や溶接鋼製の標準的なベースとは異なり、この一体成型の花崗岩構造は比類のない剛性と振動減衰性能を提供します。精密加工された垂直支柱と、上面に配置された複雑なねじ込みインサートにご注目ください。これらは単なる穴ではなく、エアベアリング、リニアモーター、精密ガイドとシームレスに統合できるよう、綿密に配置された取り付けポイントです。このコンポーネントは、ハイエンド半導体製造装置における「影の立役者」であり、あらゆるナノメートル単位の動きが制御され、正確であることを保証します。
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半導体およびAOI用黒御影石製マシンベースアセンブリ
半導体フロントエンド：振動ゼロが求められるウェハ検査およびリソグラフィ工程。
計測：三次元測定機（CMM）および光学画像システム。
航空宇宙・防衛分野：校正グレード000の表面プレートおよび超長尺ガイドレール。
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ZHHIMG® 精密花崗岩梁（空気軸受穴付き）
高精度産業の厳しい要求を満たすように設計されたZHHIMG®精密花崗岩ビームは、半導体製造、CNC加工、計測機器などの用途に最適なソリューションです。最高品質のZHHIMG®黒花崗岩から作られたこのビームは、優れた密度、安定性、耐熱性を備え、精密花崗岩部品の新たな基準を確立します。
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ZHHIMG® CNCおよび計測機器向け高精度黒御影石部品
これらの精密な花崗岩部品は、以下のような幅広い用途で使用されています。
半導体製造装置：繊細な半導体製造プロセスに、極めて安定した基盤を提供します。
CNC機械：安定した耐振動性ベースを提供することで、CNC機械の精度と耐久性を向上させます。
計測学：三次元測定機（CMM）、レーザー干渉計、座標測定装置などの測定ツールの精度を確保する。 -
高精度花崗岩製機械ベース – 高密度、無振動、計測および校正に最適
ZHHIMG®精密花崗岩製マシンベースは、様々な計測および産業用途において、比類のない安定性と精度を提供するように設計されています。当社独自のZHHIMG®黒花崗岩で作られたこのコンポーネントは、計測システム、CNC機械、半導体製造装置の堅牢かつ高精度なベースとして機能するように設計されています。
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高密度精密花崗岩表面板
高解像度顕微鏡で半導体ウェハーを検査している場面を想像してみてください。支持面プレートに振動や熱によるずれが生じると、測定結果が無効になってしまう可能性があります。当社推奨の防振マウントを用いて温度管理された室内に設置された当社の花崗岩製プレートは、必要な絶対的な静止状態を提供します。
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精密花崗岩加工機のベースおよびガントリーアセンブリ
超精密製造の世界では、わずか1ナノメートルの熱膨張や微小振動でさえ、生産全体に影響を及ぼす可能性があります。ZHHIMG®精密花崗岩アセンブリは、ハイテク機械の究極の基盤となるよう設計されています。当社独自のZHHIMG®黒花崗岩（密度3100kg/m³）を使用することで、安価な大理石や一般的なグレーの花崗岩では決して実現できないレベルの寸法安定性を提供します。
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精密花崗岩製定盤（スチール製スタンド付き）
花崗岩は精密計測において好ましい材料である。その理由は以下のとおりである。
錆びたり腐食したりしません
熱膨張率が低い
金属よりも振動吸収性に優れている
何十年にもわたって平坦さを維持するそのため、ハイエンドの検査システムのほぼすべては、鋼鉄や鋳鉄ではなく、花崗岩の土台の上に構築されているのです。
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精密花崗岩取り付けディスク
不安定な材料によって機器の性能が損なわれることのないようにしましょう。次世代半導体製造装置、計測システム、レーザー加工機など、どのような機器を構築する場合でも、ZHHIMG®精密花崗岩製マウンティングディスクは信頼できる基盤を提供します。
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精密花崗岩製機械ベース
不安定な基盤が最先端技術の性能を損なわないようにしましょう。サムスン、アップル、そして世界的な計測機関から信頼されている業界リーダーと提携しませんか。お客様のプロジェクトについてご相談の上、機器の性能を最大限に引き出す精密な花崗岩製ソリューションを設計いたします。
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ZHHIMG®精密花崗岩製ガントリーフレーム
30年以上の経験を持つ熟練職人と、最新鋭の10,000平方メートルの恒温恒湿工場が、お客様の超精密機械にふさわしい基盤を築きます。ごまかしも、隠蔽も、誤解を招くようなことは一切ありません。妥協のない品質をお約束します。
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高精度花崗岩製定規 – 高精度計測および組立基準ツール
精度を追求し、安定性で信頼される。超精密環境では、ミクロンレベルのずれでもシステム全体に悪影響を及ぼす可能性があります。ZHHIMG®精密花崗岩製スクエアは、安定した再現性のある90°基準形状を提供するように設計されており、検査、校正、および組み立てプロセス全体で位置合わせ精度を保証します。金属製スクエアとは異なり、この花崗岩製スクエアは優れた熱安定性、振動減衰性、および長期的な寸法精度を備えているため、ハイエンドの金属加工に最適です。