ウェーハ検査および計測用の超精密花崗岩ベース

1. 優れた材料科学：ZHHIMG®ブラックグラナイト

標準的な花崗岩や、さらに言えば、良心の薄い製造業者が使用する低品質の大理石とは異なり、ZHHIMG のベースは、当社独自の ZHHIMG® ブラック花崗岩のみで作られています。

● 並外れた密度: 当社の素材は、約 3100 kg/m³ という驚異的な密度を誇り、ヨーロッパやアメリカ大陸の従来の多くの黒色花崗岩よりも優れています。

● 熱安定性: 高密度と最小限の吸水性により優れた寸法安定性が確保され、重要な検査サイクル中の熱ドリフトの影響が大幅に軽減されます。

● 振動減衰: 天然の鉱物構造により、優れた内部減衰が実現され、敏感な光学系やセンサーを外部の振動から隔離するのに不可欠です。

2. 比類のない製造・組立能力

当社の精度への取り組みは、「精密ビジネスに過度の要求があってはならない」という当社の基本理念に要約されています。

● 熟練の職人技: 当社のベースは、多くが 30 年以上の経験を持つ熟練技術者によって手作業でラッピングされており、表面の平坦性と平行度はナノメートル レベルまで達成でき、精度は Renishaw レーザー干渉計と WYLER 電子レベルで検証されています。

● 管理された環境：機械加工と最終組立は、10,000平方メートルの温湿度管理されたクリーンルーム（半導体製造工場の厳しい環境を再現）内で行われます。この施設は、厚さ1,000mmのコンクリート基礎と深さ2,000mmの防振溝を備えており、真に安定した計測環境を実現します。

3. 統合された精密設計（画像参照）

ベースは通常、複雑なアセンブリとして提供され、多くの場合、次のものが含まれます。

● L 字型/ガントリー構造: イメージング ヘッドの垂直方向の動き (Z 軸) をサポートするように設計されており、直交性と幾何学的精度を保証します。

● 精密溝とインサート: エアベアリング、リニアモーター (XY テーブル)、ビジョンシステム、ガイドレール (THK、HIWIN、Rexroth) を取り付けるための、ねじ付きスチールインサートと精密ダボ穴を備えた事前機械加工された表面。

● カスタマイズ: 当社は大規模な機械加工を専門としており、お客様の設備のエンベロープに合わせて正確にカスタマイズされた、長さ最大 20 メートル、重量 100 トンのモノリシック花崗岩ベースを提供できます。