ウェハー検査および計測用超精密花崗岩ベース

1. 優れた材料科学：ZHHIMG®ブラックグラナイト

一般的な花崗岩や、さらに悪いことに、倫理観の低いメーカーが使用する低品質の大理石とは異なり、ZHHIMGの台座は、当社独自のZHHIMG®ブラック花崗岩のみを使用して製造されています。

● 卓越した密度：当社の素材は、約3100 kg/m³という驚異的な密度を誇り、ヨーロッパやアメリカ大陸の多くの一般的な黒御影石よりも優れています。

● 熱安定性：高密度かつ吸水率が低いため、優れた寸法安定性を実現し、重要な検査サイクル中の熱ドリフトの影響を大幅に低減します。

●振動減衰：天然の鉱物構造が優れた内部減衰性能を発揮し、繊細な光学部品やセンサーを外部振動から隔離するために不可欠です。

2. 比類なき製造・組立能力

精度に対する当社のこだわりは、「精密ビジネスにおいて、要求水準が高すぎるということはあり得ない」という当社の基本理念に集約されます。

● 熟練の職人技：当社のベースは、30年以上の経験を持つ熟練技術者によって手作業で研磨されており、ナノメートルレベルまでの表面の平坦度と平行度を実現しています。その精度は、レニショー製レーザー干渉計とワイラー製電子水準器によって検証されています。

● 管理された環境：機械加工と最終組み立ては、温度と湿度を厳密に管理した10,000m²のクリーンルーム（半導体製造工場の厳しい環境をシミュレート）内で行われます。この施設は、厚さ1,000mmのコンクリート基礎と深さ2,000mmの防振トレンチを備え、真に安定した計測環境を保証します。

3. 精密設計（図参照）

ベースは通常、複雑なアセンブリとして提供され、多くの場合、以下が含まれます。

● L字型/ガントリー構造：イメージングヘッドの垂直方向の動き（Z軸）をサポートするように設計されており、直交性と幾何学的精度を確保します。

● 精密溝とインサート：ねじ付きスチールインサートと精密ダボ穴を備えた事前加工面により、エアベアリング、リニアモーター（XYテーブル）、ビジョンシステム、ガイドレール（THK、HIWIN、Rexroth）を取り付けます。

●カスタマイズ：当社は大型機械加工を専門としており、お客様の設備サイズに合わせて、長さ最大20m、重量100トンまでの一枚岩の花崗岩製ベースを製作することが可能です。