ZHHIMG®精密花崗岩製エアベアリングベース部品
ZHHIMG®精密花崗岩製エアベアリングベースコンポーネント ― 世界で最も要求の厳しい超精密モーションコントロール用途向けに設計されています。
半導体リソグラフィ、ウェーハ検査、三次元測定機(CMM)、高度なレーザー加工といった分野では、装置の土台となる基礎がすべてを左右します。一般的な金属は熱で変形します。大理石はナノスケールでの安定性を確保できる構造的強度を備えていません。小規模な供給業者から仕入れる一般的な花崗岩では、サブミクロンレベルの位置決めに必要な均一性を保証することはできません。
まさにそれが、半導体製造装置メーカーから各国の計量機関に至るまで、世界の業界リーダーがZHHIMG®を選ぶ理由なのです。
これは単なる石板ではありません。ZHHIMG®ブラックグラナイトから精巧に作られた、精密設計のエアベアリングプラットフォームです。あらかじめ精密なエアホールが開けられ、部品をすぐに取り付けられるように金属インサート(A、B、C、Dと表示)が一体化されています。すべての表面は、30年以上の経験を持つ熟練職人によって、ナノメートルレベルの平面度まで手作業で研磨されています。
| モデル | 詳細 | モデル | 詳細 |
| サイズ | カスタム | 応用 | CNC、レーザー、CMM... |
| 状態 | 新しい | アフターサービス | オンラインサポート、オンサイトサポート |
| 起源 | 済南市 | 材料 | 黒御影石 |
| 色 | 黒 / グレード1 | ブランド | ZHHIMG |
| 精度 | 0.001mm | 重さ | 約3.05g/cm3 |
| 標準 | DIN/GB/JIS... | 保証 | 1年 |
| パッキング | 輸出用合板ケース | 保証期間後のサービス | ビデオ技術サポート、オンラインサポート、スペアパーツ、フィールドメール |
| 支払い | 電信送金、信用状… | 証明書 | 検査報告書/品質証明書 |
| キーワード | 花崗岩製機械ベース、花崗岩製機械部品、花崗岩製機械部品、精密花崗岩 | 認証 | CE、GS、ISO、SGS、TUV... |
| 配達 | EXW; FOB; CIF; CFR; DDU; CPT... | 図面のフォーマット | CAD、STEP、PDF... |
1. ZHHIMG® 高性能素材 ― より高密度、より安定、より信頼性が高い
当社のZHHIMG®ブラックグラナイトは、約3100kg/m³という高い密度を実現しており、一般的なヨーロッパ産およびアメリカ産のブラックグラナイトよりもはるかに高い密度を誇ります。この高い密度は、優れた寸法安定性、低い熱膨張率、そして卓越した振動減衰性能に直結します。多くの小規模メーカーが安価な代替品として大理石を安易に使用しているのとは異なり、当社のグラナイトは何十年にもわたってその物理的特性を維持します。
2. 世界をリードする製造規模
当社は単に生産能力について語るだけでなく、それを実際に実現します。ZHHIMG®は、年間生産量で世界最大の精密花崗岩メーカーであり、長さ20メートル、重量100トンまでの単体部品を加工する能力を備えています。当社が保有する4台の超大型ナンテック製研削盤(各機50万米ドル以上)は、長さ6000mmまでの金属および非金属プラットフォームを研削できます。この規模により、他社では対応できないようなプロジェクトにも対応可能です。
3. ナノレベルの手作業によるラッピング技術の習得
世界最先端の研削装置を使用していますが、最終的なナノメートルレベルの精度は、熟練した職人の手によって実現されています。30年以上の経験を持つ熟練の研磨技術者たちが、花崗岩の表面を一つひとつ手作業で研磨し、1メートルあたり1~2ミクロン以内の平面度と直線度を実現しています。お客様は、手のひらで1ミクロンの差を感じ取れることから、彼らを「歩く電子水準器」と呼んでいます。これは、機械では決して再現できない職人技です。
4. 一体型金属インサート - すぐに組み立て可能
ZHHIMG®エアベアリングベースには、高精度なステンレス鋼または真鍮製のねじ込みインサートが予め取り付けられており、識別しやすいように(A、B、C、D)明確にラベル付けされています。これにより、お客様自身が花崗岩に穴を開ける必要がなくなり、材料の損傷や平面度の損なわれといったリスクを回避できます。リニアモーター、エンコーダースケール、エアベアリングコンポーネントは、検証済みの高精度な表面に直接ボルトで固定できます。
5. 比類なき計測・校正インフラ
測定できないものは管理できません。だからこそ、当社の計測ラボには、精密計測機器の錚々たる名機が揃っているのです。ドイツ製Mahrダイヤルゲージ(分解能0.5μm)、ミツトヨ製マイクロメーターとデジタルノギス、スイス製WYLER電子水準器、そして英国製Renishawレーザー干渉計などです。すべての計測機器には、中国国家計量院にトレーサブルな校正証明書が付属しています。平面度公差を認証する際には、その妥当性を証明できます。
6. 環境制御型製造
当社の10,000平方メートルの恒温恒湿工場は、厚さ1,000mmの超硬質コンクリート基礎の上に建設され、幅500mm、深さ2,000mmの防振溝で囲まれています。工場内では静音クレーンが稼働し、最終組み立て時の振動伝達を防いでいます。また、半導体製造装置の製造環境をシミュレートした専用のクリーンルームも備えており、特に花崗岩部品の組み立てに特化しています。
7. 国際標準への準拠
当社は単に一つの規格を満たすだけでなく、あらゆる規格を網羅しています。当社の製品は、ドイツのDIN 876、アメリカのASME B89.3.7、日本のJIS B 7513、中国のGB/T 20428、イギリスのBS 817規格に準拠しています。当社のチームは、各国の計量規格に関する年次研修を受けており、お客様の機器がシュトゥットガルト、東京、ボストンなど、どの地域向けであっても、現地の仕様を満たすことを保証いたします。
このプロセスでは、さまざまな手法を用います。
● オートコリメータを用いた光学測定
● レーザー干渉計およびレーザートラッカー
● 電子式傾斜計(精密水準器)
1. 製品に添付される書類:検査報告書 + 校正報告書(測定機器) + 品質証明書 + 請求書 + 梱包明細書 + 契約書 + 船荷証券(または航空貨物運送状)。
2. 特別輸出用合板ケース:輸出用燻蒸処理不要の木箱。
3. 配送:
| 船 | 青島港 | 深セン港 | 天津港 | 上海港 | ... |
| 電車 | 西安駅 | 鄭州駅 | 青島 | ... |
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| 空気 | 青島空港 | 北京空港 | 上海空港 | 広州 | ... |
| 急行 | DHL | TNT | フェデックス | UPS | ... |
Q1:花崗岩製のエアベアリングステージとは何ですか?
花崗岩製エアベアリングステージは、花崗岩製のベースとエアベアリングを用いて摩擦のないナノメートルレベルの精密な動作を実現する位置決めシステムです。花崗岩製のベースは安定した土台を提供し、エアベアリングによって可動プラットフォームは通常5~10ミクロンの厚さの加圧空気の薄い層の上に浮遊します。
Q2:花崗岩製の空気軸受システムはどのように機能しますか?
清浄で乾燥した圧縮空気は、花崗岩部品に精密加工されたエアベアリング穴を通して供給されます。これにより、高圧で均一な空気膜が形成され、可動ステージが花崗岩表面からマイクロインチ持ち上げられ、固体同士の接触が完全に排除されます。
Q3:空気軸受面には、金属よりも花崗岩が好まれるのはなぜですか?
金属表面は内部応力や温度変化によって歪み、薄いエアギャップにも影響を与える可能性があります。ZHHIMG®ブラックグラナイトは優れた寸法安定性を備え、エアギャップを全移動距離にわたって完全に均一に保ちます。また、グラナイトは優れた振動減衰特性を持ち、非磁性であるため、半導体用途において非常に重要です。
Q4:花崗岩製のエアベアリングが正しく機能するためには、どの程度の平面度が必要ですか?
安定した空気膜を維持するためには、花崗岩の表面の平坦度と真直度のばらつきが1メートルあたり2ミクロン未満でなければなりません。そのためには、機械研磨だけでなく、熟練した技術者による熟練の手作業による研磨が必要です。
Q5:ZHHIMG®は、カスタムインサートをエアベアリング構造に組み込むことができますか?
もちろんです。製造工程において、高精度なステンレス鋼または真鍮製のねじ込みインサートを花崗岩に直接取り付けます。これにより、リニアモーター、エンコーダースケール、その他の部品を、検証済みの高精度な表面にしっかりとボルトで固定することができます。
Q6:ZHHIMG®のエアベアリング部品は、レニショーのエンコーダシステムと互換性がありますか?
はい。当社の花崗岩製梁は、レニショー製レーザー干渉計およびリニアエンコーダがデータを極めて高い精度で読み取るために必要な、安定した超平坦な基盤を提供するように設計されています。
Q7:摩擦のない空気軸受システムに塵が入り込むとどうなりますか?
圧縮空気の連続的な流出は自然なシールとして機能し、精密なガイド面から微細な塵粒子を絶えず吹き飛ばして目詰まりを防ぎます。
Q8:ZHHIMG®が製造できる最大サイズはどれくらいですか?
当社では、長さ最大20メートル、幅4000mm、厚さ1000mm、重量最大100トンまでの単体部品を加工できます。単体部品の長さと年間生産量において、当社は世界最大の精密花崗岩メーカーです。
Q9:ZHHIMG®はどのような認定資格を保有していますか?
ZHHIMG®は、ISO 9001(品質マネジメント)、ISO 45001(労働安全衛生)、ISO 14001(環境マネジメント)、およびCE認証を同時に取得している業界唯一の企業です。また、中国国際貿易促進委員会(CCPIT)を通じて登録された20以上の国際商標および特許も保有しています。
Q10:製品の品質はどのように検証され、文書化されますか?
ZHHIMG®のすべての製品には、包括的な検査報告書と校正証明書が付属しています。Mahr、Mitutoyo、WYLER、Renishawなどの計測機器は、済南計量研究所および山東計量研究所の校正証明書を取得しており、中国国家計量研究所への完全なトレーサビリティが確保されています。
品質管理
測定できないものは、理解できない!
理解できなければ、制御することもできない!
コントロールできないものは、改善することもできない!
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計測分野のパートナーであるZhongHui IMは、お客様の成功を容易にサポートします。
当社の認証および特許:
ISO 9001、ISO 45001、ISO 14001、CEマーク、AAA認証、AAAレベルの企業信用証明書…
証明書や特許は、企業の強さを示すものであり、社会が企業を認めている証でもある。
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